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vatvalve半導(dǎo)體65.3 控壓擺閥65340-JAAH 65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4“ - 14“)，采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接?？杉啥ㄖ品ㄌm，也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可根據(jù)要求使用其他材料。控制器可采用特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端口可通過(guò)個(gè)人計(jì)算

vatvalve控壓擺閥65340-JAAF 65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。 65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4“ - 14“)，采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接。可集成定制法蘭，也可作為直接安裝選項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)密封材料為氟橡膠，并且可

vatvalve瑞士進(jìn)口65.3 控壓擺閥65340-JAAE 可優(yōu)化半導(dǎo)體與顯示器系統(tǒng)中的下游壓力控制和隔離 最大限度地提高生產(chǎn)率 65.3 控壓擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專(zhuān)為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。

vatvalve高真空控制閘閥半導(dǎo)體專(zhuān)用64240-UEAG 64.2 高真空控制閘閥采用 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，同時(shí)不會(huì)在閥板密封處產(chǎn)生任何摩擦。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門(mén)開(kāi)度的流導(dǎo)特性。設(shè)備上壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置以達(dá)到規(guī)定的設(shè)定點(diǎn)壓力。步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，同時(shí)編碼器監(jiān)控閥板位置。這樣可確?？焖贉?zhǔn)確地控制過(guò)程壓力。位于關(guān)閉位置的專(zhuān)用 VATLOCK 鎖定機(jī)制能夠確保在

vatvalve高真空控制閘閥瑞士進(jìn)口64240-PEAG 適用于高循環(huán)真空控制和隔離 64.2 高真空控制閘閥設(shè)計(jì)用于在濺射或蝕刻工藝等高循環(huán)真空工藝中進(jìn)行可靠精確的控制和隔離。該系列滿(mǎn)足耐用性、模塊性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，并且特別注重長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間和低購(gòu)置成本。

vatvalve高真空控制閘閥64240-CEHG 適用于高循環(huán)真空控制和隔離 高真空控制閘閥設(shè)計(jì)用于在濺射或蝕刻工藝等高循環(huán)真空工藝中進(jìn)行可靠精確的控制和隔離

vatvalve高真空角閥26420-KE01 角閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是可靠性與可變性。26.4 高真空角閥系列兼具可靠性和可變性。

vatvalve超高真空閥閥門(mén)12136-JA03 真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導(dǎo)體制造中是至關(guān)重要的。

vatvalve楔形高真空閘閥09134-KE14 采用楔形設(shè)計(jì)的高真空閘閥已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。特別是在次金圓廠應(yīng)用中，它已經(jīng)成為真空泵隔離的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。該閘閥擁有多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)，可以輕易集成到任何應(yīng)用中。

vatvalve采用楔形設(shè)計(jì)的高真空閘閥09134-KE08 由于楔形設(shè)計(jì)，此高真空閘閥具有自清潔功能 閥門(mén)可在壓差高達(dá) 1 bar 時(shí)開(kāi)啟 適用于廣泛應(yīng)用的靈活配置選項(xiàng)